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目前微部件的加工主要包括兩種方法:光刻和機(jī)械加工。光刻基于半導(dǎo)體制造技術(shù)，用于微型電機(jī)系統(tǒng)。雖然光刻技術(shù)比較先進(jìn)，但存在一些問題，如單一的處理數(shù)據(jù)類型、有價(jià)值的處理設(shè)備等。

微機(jī)床mmt和微加工mm是實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)加工技術(shù)和設(shè)備小型化和批量生產(chǎn)微型零件的技能，即用小型機(jī)床加工小件。多軸鉆攻機(jī)加工通常是指標(biāo)準(zhǔn)范圍為10010mm、精密范圍為0.11的金屬或塑料件的非光刻加工技術(shù)。臺式工廠是一家由微機(jī)床、微機(jī)械手和運(yùn)輸設(shè)備組成的小型化工廠。工具和桌面工廠的流程和典型產(chǎn)品以及不同時(shí)代的典型產(chǎn)品見圖3。

多軸鉆攻機(jī)具有體積小、慣性質(zhì)小、發(fā)熱量小等優(yōu)點(diǎn)，具有能耗低、靈活性高、效率高等優(yōu)點(diǎn)，可以降低微機(jī)生產(chǎn)線的總體系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)劃。

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